英国微纳技术ENG5055Micro & nano technology课程介绍

微纳技术

ENG5055

Micro & nano technology

学习目标

课程内容：

本课程将使学生全面了解研究和工业中用于在平面基底上构建复杂微电子和纳米电子结构的制造工艺。学生将能够利用对平面工艺的化学、物理和工程学的理解来预测制造结构的性能，其中包括基础半导体器件的制造实例。

课程目标：

1、向学生介绍微米和纳米制造技术的历史发展和当前的重要性。

2、使学生对微米和纳米制造中使用的关键工业流程以及这些流程所依据的物理原理有清晰的定性、定量和实际理解。

3、培养学生在制造实用微电子器件时预测多种制造工艺结果的能力，以及测量、分析和优化制造流程的能力。

学习成果：

通过本课程的学习，学生将能够：

1、认识硅集成电路制造的历史意义；

2、解释关键制造技术（包括光刻、氧化、外延、化学机械抛光、金属化、扩散、离子注入、干蚀刻）的物理和化学过程；

3、对比光学和其他光刻系统，说明正负阻抗的使用情况；

4、使用标准的CAD工具设计光刻掩模；

5、计算氧化、外延、扩散、植入和蚀刻的加工参数，以分析预测这些加工的结果；

6、回顾干蚀刻的使用和方法；

7、说明如何将各种工艺结合起来制造设备，并对两层或三层结构的制造工艺进行分类；

8、为一系列结构和器件（不限于MOSFET）设计简单的工艺流程；

9、总结与洁净室制造相关的健康和安全方面的问题；

10、对微观结构进行电气测量，并根据测量结果评估器件质量；

11、根据显微照片和电气测量结果诊断加工问题，并向有经验的从业人员有效介绍结论；

12、解释优化制造工艺的实验设计原则；

13、能在充分了解技术实用性的基础上，判断微米和纳米加工在当前和不久的将来对经济、环境和社会的影响。

展开全部

英国微纳技术课程辅导

课程课件讲解

同步海外各大院校学习进度+原版课件，PPT课件知识点讲解，包含但不限于作业讲解、考试突击辅导、论文essay辅导等，提高GPA，解决课业难题。
作业知识点讲解

作业题目讲解,topic+outline讲解，作业题难点知识点、答题思路指导。
考前冲刺辅导

帮助学生考前快速冲刺，考前直击重点/作答技巧，重点难点梳理+讲解，预测exam考点，更有独家学习资料与干货分享。
挂科appeal

学术不端、论文低分重复度高申诉appeal、考试作弊挂科听证会申诉，全程申诉老师陪同指导，高质量申诉信写作，听证会材料搜集整理，抓住申诉机遇。

免费获得学习规划方案

已有 1129 位留学生获得学习规划方案

英国

*已对您的信息加密，保障信息安全